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山东言赫#经营淄博万达利特种气体公司生产的氯化氢,它是在淄博齐鲁石化工业园区注册的高新科技企业,淄博万达利直属于北京华宇同方,主要从事新材料技术和化工新技术的#,以及高新技术产品的生产和销售。#的沸石催化剂及其应用技术处于##水平。生产的“华宇同方”牌高纯氯化氢产品与#知名品牌的性能相当,为半导体器件制造业、光伏产业提供了充足的优质原材料。
万达利公司现有年产2000吨高纯氯化氢生产线,连续批量生产应用于单晶硅外延片制造的5N(99.999%)电子级(VLSI)氯化氢,以及应用精细化学品制造的2.8N(99.8%)化学级氯化氢。产品性能#,质量稳定,处于国内前列地位,达到##水平。钢瓶装电子级氯化氢气体产品分别经国内标准物质研究中心和信息产业部专用材料质量监督检验中心抽样检验,纯度大于99.999%,总杂质含量小于5ppm,符合国标GB/T24469-2009。2003年10月通过北京市科委科技成果鉴定,获得国内专项#专利,具有自主知识产权。经国内外多家半导体材料生产企业在单晶硅片气相抛光、外延基座腐蚀和硬质合金镀膜工艺中使用证明,其主要性能技术指标与国外同类产品相当,填补了我国电子级氯化氢产品生产的#。
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