东莞市龙德真空科技有限公司

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EH机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是#受欢迎的泵，可用于压力范围为0.01至10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。

机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。

应用
•半导体制程
•真空蒸馏
•真空包装
•钢脱气
•薄膜覆层
•真空冶金
•低密度风洞
•空间模拟
•真空浸渍
•油干燥和脱气
•制药冷冻干燥
•CO2激光

功能和优势
•适用于在0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr的压力范围下、需要#过3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的应用场合。
•它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
•EH泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：•o 安静的无振动运行。
•o 牢靠且防腐蚀。
•o #的轴封技术，处理舱中不会出现油污染

•防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
•经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到#低。
•轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要#高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
•动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是#技术设备的制造商所需要的。

技术数据




　型号


EH250


EH500


EH1200


EH2600


EH4200




排量（工作容积）


310 m3h-1/ 185 ft3min-1


505 m3h-1/ 300 ft3min-1


1195 m3h-1/ 715 ft3min-1


2590 m3h-1/ 1525 ft3min-1


4140 m3h-1/ 2440 ft3min-1




使用前级泵时的有效抽速


240 m3h-1/ 141 ft3min-1


350 m3h-1/ 206 ft3min-1


840 m3h-1/ 495 ft3min-1


1750 m3h-1/ 1031 ft3min-1


3100 m3h-1/ 1825 ft3min-1




泵的压力差


0-180 mbar/0-140 Torr


0-110 mbar/0-83 Torr


0-90 mbar/0-68 Torr


0-80 mbar/0-60 Torr


0-60 mbar / 0-45 Torr




进气口连接


ISO63


ISO100


ISO160


ISO160


ISO250




出口连接


ISO40


ISO63


ISO100


ISO100


ISO100




转速


0-2900 rpm


0-2900 rpm


0-2900 rpm


0-2900 rpm


0-2900 rpm




连续进气口工作压力


0-1000 mbar/0-760 Torr


0-1000 mbar/0-760 Torr


0-1000 mbar/0-760 Torr


0-1000 mbar/0-760 Torr


0-1000 mbar/0-760 Torr




#大出口压力


1000 mbar/760 Torr


1000 mbar/760 Torr


1000 mbar/760 Torr


1000 mbar/760 Torr


1000 mbar/760 Torr




推荐的前级泵


GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80


GV80，E2M80


GV160、GV250、
E2M80、E2M175


GV250、GV400、
E2M175、E2M275


GV400、E2M275




电机功率



















碳氢化合物


2.2 kW / 3 hp


2.2 kW/3 hp


3 kW/4 hp


11 kW/15 hp


11 kW/15 hp




PFPE


1.5 kW / 2 hp


1.5 kW/2 hp


3 kW/4 hp


7.5 kW/10 hp


11 kW/15 hp




ATEX


2.2 kW


2.2 kW


3 kW


11 kW


11 kW




防爆


3 hp


3 hp


4 hp


15 hp


15 hp




环境温度范围



















工作


5至40°C/40至104°F


5至40°C/40至104°F


5至40°C/40至104°F


5至40°C/40至104°F


5至40°C/40至104°F




存储


-10至80°C/14至176°F


-10至80°C/14至176°F


-10至80°C/14至176°F


-10至80°C/14至176°F


-10至80°C/14至176°F




#大工作湿度


90% RH


90% RH


90% RH


90% RH


90% RH




推荐用油


Ultragrade 20


Ultragrade 20


Ultragrade 20


Ultragrade 20


Ultragrade 20




油容量



















齿轮箱








1.25 l/1.3 qt


3.5 l/3.3 qt


3.5 l/3.3 qt




联轴器盖


1.5 l/1.6 qt


1.5 l/1.6 qt


1.5 l/1.6 qt


6.5 l/7 qt


6.5 l/7 qt




轴封储油器


0.125 l/0.25 qt


0.125 l/0.25 qt


0.125 l/0.25 qt


1.5 l/1.4 qt


1.5 l/1.4 qt




重量


61 kg/134 lb


74 kg/163 lb


74 kg/163 lb


308 kg/679 lb


400 kg / 882 lb