山东干式真空泵有限公司

干式真空泵又称无油干式机械真空泵，是一种环保机械。该设备能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。因此，在很多领域有广泛应用，主要有以下几个方面：
　　1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
　　2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
　　3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；
　　4、在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；
　　5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染；
　　干式真空泵的应用主要是对环境有特殊要求的行业，保障产品不被其它物质污染，确保产品的纯净度以及产品质量。
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