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其实石英坩埚的尺寸大小取决于晶体生长的直径和长度,同时还要考虑拉晶工艺中对埚、晶直径比的要求,一般竭、晶直径比以3:1为佳,具体的确定因素我们看一下下文:
1、石英坩埚与熔液直接接触,熔硅与石英坩埚中的二氧化硅发生反应,同时向熔体内部扩散和向熔体表面挥发。*后有一部分到达固一液界面附近,混入到正在生长的晶体中去,从而使单晶体中的氧含量增高。低温水槽采取较大的涡、晶直径比,将有利于氧的大量挥发。
2、因此当拉制直径为80mrn、长度为7.000mm硅单晶时,我们确定增涡的直径为中224mm,高度为190mm。
3、同时为了提高单晶的成品率和回收率,还要考虑其材料的选用。当然是在保证竭、晶直径比例的情况下,为此确定使用平底柑塌。
通过以上的信息,大家不难看出如何确定石英坩埚的尺寸,也就是说与晶体生长的长度等有关系,并且尺寸大的有利于氧的挥发,这样用户就可以根据实际需要来进行尺寸的选择,从而达到更好的效果。
文章来源:news/188.html。
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