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LPCVD
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主营产品/服务：LPCVD,晶圆激光切割机,自动匀胶机
更新时间： 2017年02月06日 浏览次数：578
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LPCVDsystem(低压力化学气相沉积系统)。设备主要部件全部选用#主流知名品牌，适用于IC芯片制造、可控硅芯片制造、二三极管芯片制造、整流桥芯片制造、太阳能电池芯片制造等各种芯片造行业。涵盖工艺包括：LTO（二氧化硅）、PSG（磷硅玻璃）、（半绝缘多晶硅）、POLY（多晶硅）、SI3N4（氮化硅）、等。设备成熟稳定安全可靠，可配套提供相应工艺技术支持。

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