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现在干式真空泵越来越受到人们的欢迎,应用范围也越来越广,具体都应用在哪些领域呢?更多精彩资讯尽在:/。
1、低压气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2、半导体刻蚀工艺;
3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺;
4、在食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等;
5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
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