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透明导电氧化物材料是平板液晶等显示器件中透明导电薄膜的必要组成部分。在透明导电氧化物材料中,ITO具有相对高的电导率。由于显示器件的尺寸与导电薄膜的电阻率成反比,所以ITO成为现阶段大尺寸液晶显示器件中导电薄膜的*选择。并且也只有ITO才能够达到电子计算机的辐射标准。
在制作ITO透明导电薄膜过程中,先制备出合格的ITO粉体后,再将ITO粉体高压烧结得到ITO靶材,*后采用溅射的方法将ITO靶材沉积为高密度、高均匀的ITO导电薄膜。
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