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镀膜线用水要求水质为不良导体,即电阻率大于16MΩ?cm的纯水。通常采用UF(滤)装置、二级RO(反渗透)装置、EDI(电去离子)装置、抛光混床等工艺过程制得纯水,末端采用氮封水箱屏蔽纯水与外界空气接触。
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