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干式真空机组是以罗茨真空泵为主泵,干式螺杆真空泵为前级泵的抽气系统。此中机组的过流部分没有任何液体作为工作液,对被抽工艺气体不产生任何二次污染,有利于保持被抽系统的清洁,便于排除气体的回收。
由于此种机组具有大抽气量、高真空度、无污染的特点,因此其应用越来越广泛。
规格型号JZDP150-2JZDP300-2JZDP600-4JZDP600-2
抽气速率L/S150300600600
极限压力Pa0.50.50.50.5
前级泵
(螺杆泵)
规格型号SDP-80SDP-120SDP-120SDP-200
抽气速率L/S80120120200
配套功率KW7.5151518.5
主泵
(罗茨泵)
规格型号ZJ-150ZJ-300ZJ-600ZJ-600
抽气速率L/S150300600600
配套功率KW345.55.5
入口Mm100150150150
出口Mm40505065
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