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全面的PLC水、电、气自动控制和保护系统。实现电源、炉体、冷却水、保护气体等装置的顺序控制和连锁保护，预警、报警等功能。
由封闭的纯水循环系统进行冷却，每一个水路的水流量都在触摸屏上显示，一次水循环系统全部使用不锈钢管道和去离子水，
配备气体净化装置可将氧含量降到1ppmv，露点温度小于-70度
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