深圳市傲内电子有限公司

Tetra-30/50-LF-PC标准型规格参数
1.外形尺寸
W600mm×H1800mm×D800mm
2.等离子反应舱
30型:W305mm×H300mm×D370mm
舱体容量：约33升
50型:W305mm×H300mm×D625mm
舱体容量：约57升
3.射频频率
40KHz/0-1000W连续可调
4.控制系统
基于微软操作系统的工业PC控制全自动/手动
5.电极和托盘
30型:1-6层电极和托盘(可选择旋转舱体)
50型:1-8层电极和托盘(可选择旋转舱体)
6.真空泵
二级旋片真空泵*低抽速：16m3/h
真空泵可使用氧气O2油污过滤器
7.参数
停泵压力、处理压力、气体流量
稳定时间、射频功率、处理时间、停止时间
8.特点
压力数字显示、处理终止报警、真空安全开关、舱门安
全开关、压缩气体压力传感器、信号灯、远程控制接口
9.供气系统
2通道气体质量流量计