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1.外形尺寸
W534mm×H566mm×D540mm
2.等离子反应舱
Ø210mm,D260mm(不锈钢舱体)舱体容量:约8升
3.射频频率
40KHz,13.56MHz,2.45GHz可选
4.控制系统
半/全自动控制,电脑控制,液晶触摸屏控制
5.真空泵
真空泵4m3/h
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